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有限元仿真在電子封裝中的應(yīng)用
原理與方法



仿真是利用模型復(fù)現(xiàn)實(shí)際系統(tǒng)中發(fā)生的本質(zhì)過(guò)程,并通過(guò)對(duì)系統(tǒng)模型的實(shí)驗(yàn)來(lái)研究存在的或設(shè)計(jì)中的系統(tǒng),又稱(chēng)模擬。這里所指的模型包括物理的、數(shù)學(xué)的、靜態(tài)的、動(dòng)態(tài)的,連續(xù)的、離散的各種模型。當(dāng)所研究的系統(tǒng)造價(jià)昂貴、實(shí)驗(yàn)的危險(xiǎn)性大或需要很長(zhǎng)的時(shí)間才能了解系統(tǒng)參數(shù)變化所引起的后果時(shí),仿真是一種特別有效的研究手段。

有限元法是一種高效能、常用的數(shù)值計(jì)算方法。科學(xué)計(jì)算領(lǐng)域,常常需要求解各類(lèi)微分方程,而許多微分方程的解析解一般很難得到,使用有限元法將微分方程離散化后,可以編制程序,使用計(jì)算機(jī)輔助求解。求解時(shí)對(duì)整個(gè)問(wèn)題區(qū)域進(jìn)行分解,每個(gè)子區(qū)域都成為簡(jiǎn)單的部分,這種簡(jiǎn)單部分就稱(chēng)作有限元。類(lèi)比于連接多段微小直線逼近圓的思想,離散后單元與單元之間利用單元的節(jié)點(diǎn)相互連接起來(lái);單元節(jié)點(diǎn)的設(shè)置、性質(zhì)、數(shù)目等應(yīng)根據(jù)問(wèn)題的性質(zhì)、描述變形形態(tài)的需要和計(jì)算精度而定(一般情況單元?jiǎng)澐衷郊?xì)則描述變形情況越精確,即越接近實(shí)際變形,但計(jì)算量越大)。所以有限元中分析的結(jié)構(gòu)已不是原有的物體或結(jié)構(gòu)物,而是同新材料的由眾多單元以一定方式連接成的離散物體。這樣,用有限元分析計(jì)算所獲得的結(jié)果只是近似的。如果劃分單元數(shù)目非常多而又合理,則所獲得的結(jié)果就與實(shí)際情況相符合。

它的核心思想就是將連續(xù)的求解域進(jìn)行離散化的處理,得到一組單元的組合體,根據(jù)設(shè)定的初始條件求解每個(gè)剖分單元區(qū)域參數(shù)的近似解,然后由已知的算法模塊對(duì)離散化區(qū)域的方程組進(jìn)行處理得到真解。


典型建模仿真方法

圖1為在電子封裝中有限元求解過(guò)程的基本流程圖,通常包括預(yù)處理、建模、求解和后處理等步驟,其中材料參數(shù)和模型對(duì)于仿真結(jié)果的準(zhǔn)確性有重要影響。

圖片

1 在電子封裝中有限元求解過(guò)程的基本流程圖

前期處理階段主要有物理場(chǎng)的選取、添加研究(激勵(lì)) 、以及定義相應(yīng)的材料參數(shù)等(例如材料楊氏模量、熱膨脹系數(shù)、相對(duì)介電常數(shù)等參數(shù))。

建模階段將待解區(qū)域進(jìn)行分割,離散成有限個(gè)元素的集合。元素(單元)的形狀原則上是任意的。二維模型一般采用三角形單元或矩形單元,三維模型可采用四面體或多面體等。

求解階段是先單獨(dú)計(jì)算每一個(gè)單元的矩陣方程,然后通過(guò)各個(gè)節(jié)點(diǎn)將各個(gè)單元聯(lián)系起來(lái),組成新的矩陣方程,最后計(jì)算出所有方程的共同解。

后處理模塊可將計(jì)算結(jié)果以彩色等值線顯示、梯度顯示、矢量顯示、粒子流跡顯示、立體切片顯示、透明及半透明顯示(可看到結(jié)構(gòu)內(nèi)部)等圖形方式顯示出來(lái),也可將計(jì)算結(jié)果以圖表、曲線形式顯示或輸出。



02


發(fā)展



在上個(gè)世紀(jì)90年代以前,由于計(jì)算機(jī)資源的缺乏,有限元建模只局限于對(duì)單個(gè)物理場(chǎng)的模擬,最常見(jiàn)的就是對(duì)力學(xué)、傳熱、流體以及電磁場(chǎng)的模擬。

但是,一般來(lái)說(shuō),物理現(xiàn)象都不是單獨(dú)存在的。例如,只要運(yùn)動(dòng)就會(huì)產(chǎn)生熱,而熱反過(guò)來(lái)又影響一些材料屬性,如電導(dǎo)率、化學(xué)反應(yīng)速率、流體的粘性等等。這種物理系統(tǒng)的耦合就是我們所說(shuō)的多物理場(chǎng),分析起來(lái)比我們單獨(dú)去分析一個(gè)物理場(chǎng)要復(fù)雜得多。

后來(lái)經(jīng)過(guò)數(shù)十年的努力,計(jì)算科學(xué)的發(fā)展為我們提供了更靈巧簡(jiǎn)潔而又快速的算法,更強(qiáng)勁的硬件配置,使得對(duì)多物理場(chǎng)的有限元模擬成為可能。新興的有限元方法為多物理場(chǎng)分析提供了一個(gè)新的機(jī)遇,滿足了工程師對(duì)真實(shí)物理系統(tǒng)的求解需要。隨之誕生了各種較為先進(jìn)的仿真軟件,例如ANSYS、ABAQUS、COMSOL等仿真軟件。ANSYS是完全的WINDOWS程序,從而使應(yīng)用更加方便,它有一整套可擴(kuò)展的、靈活集成的各模塊組成因而能夠滿足各行各業(yè)的工程需要;它不僅可以進(jìn)行線性分析,還可以進(jìn)行各類(lèi)非線性分析。而COMSOL支持的所有物理場(chǎng)全都集合在同一個(gè)界面下,可以使用同一套網(wǎng)格,同一種操作邏輯,來(lái)完成結(jié)構(gòu)、流體、電磁、熱分析等各類(lèi)不同的仿真問(wèn)題。

多物理場(chǎng)的耦合分析有兩種數(shù)值技術(shù)可用于模擬涉及的多物理場(chǎng):直接耦合和順序耦合。

(1) 直接耦合分析。直接耦合分析將所有物理場(chǎng)組合為一個(gè)矩陣中的有限元方程,并將矩陣作為一個(gè)整體求解。

(2) 順序耦合。在順序耦合中,一個(gè)場(chǎng)的方程被部分求解,并且結(jié)果作為載荷(一個(gè)物理場(chǎng)與另一個(gè)物理場(chǎng)相互作用的結(jié)果)傳遞到下一個(gè)物理場(chǎng)以驅(qū)動(dòng)該場(chǎng)的求解。然后分析軟件將此迭代傳遞到下一個(gè)物理場(chǎng),依此類(lèi)推,直到最后一個(gè)場(chǎng)。在這之后順序迭代過(guò)程從頭開(kāi)始直到找到最終解。




03


在電子封裝中的應(yīng)用



電子封裝是電子制造產(chǎn)業(yè)鏈中將芯片轉(zhuǎn)換為能夠可靠工作的器件的過(guò)程。由于裸芯片無(wú)法長(zhǎng)期耐受工作環(huán)境的載荷、缺乏必要的電信號(hào)連接,無(wú)法直接用于電子設(shè)備。因此,雖然不同類(lèi)型產(chǎn)品有所差別,但是電子封裝的主要功能比較接近,主要包括四大功能:(1)機(jī)械支撐,將芯片及內(nèi)部其他部件固定在指定位置;(2)環(huán)境保護(hù),保護(hù)芯片免受外界的水汽、腐蝕、灰塵、沖擊等載荷影響;(3)電信號(hào)互連,為內(nèi)部組件提供電通路及供電;(4)散熱,將芯片工作時(shí)產(chǎn)生的熱量及時(shí)導(dǎo)出。隨著封裝密度不斷提升、功能多樣化,電子封裝中多場(chǎng)多尺度耦合的可靠性問(wèn)題更加明顯。

隨著電子產(chǎn)品的不斷發(fā)展,可靠性已經(jīng)列為產(chǎn)品的重要質(zhì)量指標(biāo)加以考核和檢驗(yàn)。對(duì)產(chǎn)品可靠性的研究與發(fā)展可以帶動(dòng)和促進(jìn)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、使用、材料、工藝、設(shè)備和管理的發(fā)展,把電子元器件和其他電子產(chǎn)品提高到一個(gè)新的水平。電子封裝是芯片成為器件的重要步驟,其可靠性研究自然更加重要。它涉及的材料種類(lèi)繁多,大量材料呈現(xiàn)顯著的溫度相關(guān)等一些非線性力學(xué)行為。相關(guān)工藝過(guò)程中外界載荷與器件的相互作用呈現(xiàn)典型的多尺度、多物理場(chǎng)的特點(diǎn),在可靠性驗(yàn)證方面,如進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證則往往需要采用真實(shí)的器件,去模擬其失效的環(huán)境,以致器件失效損壞,具有很高的試驗(yàn)成本,而通過(guò)仿真的方法即可解決這個(gè)問(wèn)題。封裝的可靠性分析主要包括熱-力耦合、電-熱耦合、電-熱-力耦合以及電信號(hào)的完整性等。


熱力

由于芯片及封裝涉及大量不同類(lèi)型材料,部分材料特性相差甚遠(yuǎn),在封裝工藝過(guò)程中,如果內(nèi)部缺陷、殘余應(yīng)力、變形等問(wèn)題控制不當(dāng),極易在封裝過(guò)程中或者產(chǎn)品服役中引發(fā)可靠性問(wèn)題。

例如,在各種制造工藝、加速測(cè)試、不當(dāng)?shù)奶幚砗蛻?yīng)用過(guò)程中,模塊中經(jīng)常產(chǎn)生空隙、裂縫和分層等缺陷。缺陷主要在制造早期形成,但是在后續(xù)的溫度、濕度、應(yīng)力等不均勻載荷下逐步擴(kuò)展最終失效。如圖2所示,通過(guò)非線性有限元法對(duì)各種情況下的缺陷進(jìn)行建模,以研究界面、界面初始缺陷和熱接觸、非線性應(yīng)力及界面之間的聯(lián)系,從而分析它們對(duì)熱學(xué)等性能的影響。圖片

圖2 熱-力耦合仿真圖

隨著封裝基板向著薄厚度、高散熱性、精細(xì)線路、高集成度的方向發(fā)展。目前,在計(jì)算機(jī)、通信等領(lǐng)域,倒裝芯片封裝技術(shù)已經(jīng)獲得了相當(dāng)程度的應(yīng)用,并且呈高速增長(zhǎng)的趨勢(shì)。倒裝芯片封裝技術(shù)主要的設(shè)計(jì)目是為了克服手工引線鍵合成本高、可靠性差和生產(chǎn)效率低的缺點(diǎn)。但是在生產(chǎn)制造、應(yīng)用使用和存貯運(yùn)輸過(guò)程中所承受的外在環(huán)境因素(如濕氣、溫度、振動(dòng)、粉塵等)都會(huì)影響到封裝產(chǎn)品的可靠性,使其遭受各種物理或化學(xué)的失效形式,主要失效機(jī)理包括:翹曲變形、剝離分層、疲勞斷裂、磨損腐蝕等。

導(dǎo)致倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)出現(xiàn)可靠性問(wèn)題的其中一個(gè)主要原因就是:芯片與基板間存在的各種材料CTE的失配問(wèn)題(例如電介質(zhì)材料與銅等材料)。

圖片圖3 器件失效機(jī)理圖

下圖為經(jīng)簡(jiǎn)化后的四分之一2+2+2的FCBGA封裝基板模型,尺寸為7mm×7mm,0.1mm的線寬,0.2mm的線距,設(shè)置170℃升溫至260℃再降溫至30℃兩個(gè)溫度過(guò)程,采用線彈性材料簡(jiǎn)化,對(duì)稱(chēng)性邊界條件。

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圖4 四分之一2+2+2的封裝基板模型圖



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圖5 翹曲值隨溫度的變化曲線

在170℃升溫至260℃的范圍內(nèi),翹曲值為正值,基板呈現(xiàn)出一個(gè)笑臉式的翹曲。

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圖6 170℃升溫至260℃的應(yīng)變?cè)茍D

在從260℃降溫至30℃的過(guò)程中,翹曲值逐漸減小最后為負(fù)值,笑臉式翹曲逐漸被抵消,呈現(xiàn)出哭臉式的翹曲狀態(tài)。 


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圖7 260℃降溫至30℃的應(yīng)變?cè)茍D


電-熱

電子元件的小型化、微型化促使焊料尺寸越來(lái)越小,在使用中大量的熱量無(wú)法及時(shí)散發(fā),電流聚集、溫度聚集的現(xiàn)象嚴(yán)重,導(dǎo)致封裝體內(nèi)部溫度分布不均勻,本質(zhì)是基板中電阻或介電材料的電磁能所產(chǎn)生的焦耳熱以及散熱的問(wèn)題。在溫度集中部位,即更容易發(fā)生熱點(diǎn)擊穿的現(xiàn)象,造成產(chǎn)品失效。

通過(guò)使用有限元仿真可以得出如圖8所示的封裝的溫度分布圖,從而對(duì)于整個(gè)封裝結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和材料的使用起到指導(dǎo)的作用。

圖片

圖8 封裝模型溫度分布圖


電-熱-力

功率器件封裝的結(jié)構(gòu)完整性的關(guān)鍵是芯片和鍵合線之間的連接以及芯片和基板之間通過(guò)封裝互連材料實(shí)現(xiàn)連接。在功率模塊工作時(shí),這些封裝互連由于通電產(chǎn)生的熱量而受到周期性的溫度變化作用,由于功率模塊的封裝材料間CTE不匹配,從而導(dǎo)致其承受顯著的循環(huán)熱應(yīng)力,極易導(dǎo)致電-熱-機(jī)械疲勞現(xiàn)象,進(jìn)而可能導(dǎo)致模塊封裝翹曲、引線斷裂和封裝互連的裂紋產(chǎn)生與擴(kuò)展。使用仿真的方法來(lái)模擬計(jì)算出器件在使用中的電致熱、致力的具體數(shù)值及分布情況,可以很好地分析出器件溫度、應(yīng)力集中的位置和大小。


信號(hào)完整性

由于封裝技術(shù)的發(fā)展不斷提高集成電路工作速率, 也帶來(lái)了不容忽視的信號(hào)完整性問(wèn)題。系統(tǒng)級(jí)封裝高速互連結(jié)構(gòu)中信號(hào)連接線所呈現(xiàn)出的波動(dòng)效應(yīng)已成為影響信號(hào)完整性和整個(gè)系統(tǒng)性能的主要因素, 傳輸信號(hào)的不穩(wěn)定或不完整都可能導(dǎo)致系統(tǒng)功能的缺失。故信號(hào)完整性問(wèn)題已成為高速電路系統(tǒng)設(shè)計(jì)中的重要問(wèn)題。

在高頻結(jié)構(gòu)仿真軟件中建立仿真模型, 研究模型的基板高度、基板介電常數(shù)、微帶線特性阻抗和微帶線長(zhǎng)度等仿真模型的回波損耗、插入損耗的影響,對(duì)封裝結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)及材料的特性參數(shù)具有指導(dǎo)意義。





04


總結(jié)與展望



目前制約微電子器件封裝快速發(fā)展的一大因素就是缺乏相應(yīng)的封裝材料及完整的材料數(shù)據(jù)。封裝材料關(guān)系著電子微器件的強(qiáng)度和可靠性,材料的力學(xué)響應(yīng)對(duì)于封裝材料的選取和電子微器件的強(qiáng)度與可靠性設(shè)計(jì)非常關(guān)鍵。因此急需針對(duì)典型封裝材料的優(yōu)缺點(diǎn)進(jìn)行評(píng)價(jià)、開(kāi)發(fā)加速評(píng)估方法,展望適合未來(lái)封裝技術(shù)發(fā)展的先進(jìn)封裝材料。

使用仿真的方法可以在預(yù)研設(shè)計(jì)階段代替實(shí)驗(yàn)測(cè)試,也可在后期進(jìn)行可靠性分析,建立壽命預(yù)測(cè)的模型,研究失效模式、失效部位,對(duì)器件產(chǎn)品的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)具有指導(dǎo)意義;也可以在新的封裝材料的開(kāi)發(fā)研究中,引領(lǐng)開(kāi)發(fā)方向,降低材料的試驗(yàn)開(kāi)發(fā)成本。因此,利用仿真技術(shù)來(lái)研究問(wèn)題就具有更為重要的意義。

隨著市場(chǎng)對(duì)電子器件更強(qiáng)功能和更小尺寸的不斷追求,其潛在的失效機(jī)理和模式也更加復(fù)雜,呈現(xiàn)出多尺度、多積累復(fù)合失效的特征。為應(yīng)對(duì)這一問(wèn)題,發(fā)展電子器件、模塊、系統(tǒng)的在線監(jiān)測(cè)技術(shù)顯得更加重要。同時(shí),在器件可靠性設(shè)計(jì)優(yōu)化過(guò)程中,跨階段協(xié)作的、復(fù)合場(chǎng)可靠性預(yù)測(cè)及試驗(yàn)分析也是電子器件未來(lái)發(fā)展的重要方向,相信仿真也會(huì)在其中起到至關(guān)重要的作用。






作者:KWK

圖源1:LIU Sheng, LIU Yong. Modeling and simulation for microelectronic packaging assembly: Manufacturing, reliability and testing[M]. Hoboken: Wiley,2011.

圖源2:LIU Sheng, LIU Yong. Modeling and simulation for microelectronic packaging assembly: Manufacturing, reliability and testing[M]. Hoboken: Wiley,2011.

圖源3:陳志文,梅云輝,劉勝,李輝,劉俐,雷翔,周穎,高翔.電子封裝可靠性:過(guò)去、現(xiàn)在及未來(lái)[J].機(jī)械工程學(xué)報(bào),2021,57(16):248-268.

圖源8:佘陳慧,楊龍龍,談利鵬,劉培生.電流聚集下倒裝芯片封裝體應(yīng)力及翹曲研究[J].南通大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版),2020,19(04):42-48.




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